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        砂輪片腐蝕性能的檢測分析
        
    
         
        文章作者：ownpowerkefu
         
        發(fā)表時(shí)間：2015-12-07 11:25:22
         
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        [導讀:]砂輪片腐蝕性能的檢測分析    磨光片腐蝕A/B：經(jīng)切片及研磨等機械加工后，晶片表面受加工應力而形成的損傷層，通常采用化學(xué)腐蝕去除。腐蝕A是酸性腐蝕，用混酸溶液去除損傷層，產(chǎn)生氟化氫、NOX和廢混酸；腐蝕B是堿性腐蝕，用氫氧化鈉溶液去除損傷層，產(chǎn)生廢堿液。本項目..
        
  
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        砂輪片腐蝕性能的檢測分析

                磨光片腐蝕A/B：經(jīng)切片及研磨等機械加工后，晶片表面受加工應力而形成的損傷層，通常采用化學(xué)腐蝕去除。腐蝕A是酸性腐蝕，用混酸溶液去除損傷層，產(chǎn)生氟化氫、NOX和廢混酸；腐蝕B是堿性腐蝕，用氫氧化鈉溶液去除損傷層，產(chǎn)生廢堿液。本項目一部分硅片采用腐蝕A，一部分采用腐蝕B。
        　　磨光片分檔監測：對硅片進(jìn)行損傷檢測，存在損傷的硅片重新進(jìn)行腐蝕。
        　　粗磨光片：使用一次研磨劑去除損傷層，一般去除量在10~20um。此處產(chǎn)生粗拋廢液。
        　　精磨光片：使用精磨劑改善硅片表面的微粗糙程度，一般去除量1 um以下，從而的到高平坦度硅片。產(chǎn)生精拋廢液。
        　　檢測：檢查硅片是否符合要求，如不符合則從新進(jìn)行拋光或RCA清洗。
        　　檢測：查看硅片表面是否清潔，表面如不清潔則從新刷洗，直至清潔.碳鋼法蘭。
        　　包裝：將單晶硅磨光片進(jìn)行包裝。
        
  
        本文由砂輪片生產(chǎn)廠(chǎng)家-東莞市華昱（卓銳）金剛石工具有限公司整理發(fā)布，如需轉載請注明來(lái)源及出處，原文地址：http://heiprop.com/news/714.htm
        
  

        


        
  
        
    
        
      
      
        
        
        
        
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